淺述鐘罩窯的各組成部分作用

　　鐘罩窯是一種科學(xué)技術(shù)材料。窯爐外形如一座高大的鐘。燒成時(shí)需將窯體罩在產(chǎn)品上，燒成完畢再將鐘罩吊起來(lái)，放在一旁。它特別適用于燒成特大型的絕緣子電瓷產(chǎn)品及大件的藝術(shù)陶瓷產(chǎn)品。
　　鐘罩窯所提供的燒結窯爐的主要特性是效率比較高，其智能控制系統和其他設備構成了一個(gè)完整的功能單元，可充分滿(mǎn)足鐵氧體行業(yè)近乎藝術(shù)級的要求。可以根據需要編寫(xiě)和儲存任何的溫度/氣氛曲線(xiàn)，來(lái)生產(chǎn)高質(zhì)量的產(chǎn)品。除此以外還可以根據實(shí)際需要及時(shí)生產(chǎn)任何其他產(chǎn)品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時(shí)僅僅需要少數操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結可以在夜間完成,實(shí)現電力調峰，在當今電力緊張情況下，十分實(shí)用。
　　目前設備可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩窯主要由真空腔室、加熱室、進(jìn)氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成的，下面來(lái)了解下各組成部分的作用：
　　1、真空腔室：鐘罩窯真空腔室是其工作空間，晶圓在這里進(jìn)行快速熱處理。
　　2、加熱室：加熱室以多個(gè)紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
　　3、進(jìn)氣系統：真空腔室尾部有進(jìn)氣孔，控制的進(jìn)氣量用來(lái)滿(mǎn)足一些特殊工藝的氣體需求。
　　4、真空系統：鐘罩窯在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度,同時(shí)避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。
　　5、溫度控制系統：溫度控制系統由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
　　6、氣冷系統：鐘罩窯真空腔室的冷卻是通過(guò)進(jìn)氣系統向腔室內充入惰性氣體，來(lái)加速冷卻被熱處理的工件，滿(mǎn)足工藝使用要求。
　　7、水冷系統：主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。

　　以上就是鐘罩窯的七大組成部分及作用，到這里小編的分享今天就結束了，希望今天分享的內容能夠對大家有所幫助，若大家還有其他想要了解的問(wèn)題，歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行咨詢(xún)。

2023.12.6  ZG